第460章 五步光刻法
1992年3月
新华社全文播发“为改革开放保驾护航”
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全彩会议室
今天开会来的人特别全，因为公司到了一个新的节点。
在会议桌中央，摆放着几块10.4寸的TFT-LCD样品。这几块样品，是用产线设备跑出来的。LCD生产线，终于彻底跑通了一次。
当然了，这个跑通，不等于马上就能投产。因为还有产品质量问题，良率问题。但剩下的事情相对就好办了，大家慢慢磨时间吧。
“样品给骆师姐送去了吗？”
“送去了，她们的电路板已经准备得差不多了，估计过两天，成品就会送回来。”
会议室的众人，都对第一块可以显示图案的LCD成品，期盼着。
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会议的重点，永远都是良率问题。
ODF工序，被引入以后，按理说TFT-LCD的良率，不应该有什么问题了。剩下的都是很普通的半导体加工工序。
光电虽然没有晶圆的生产经验，但LED的生产经验不算少了。但实际情况，并非如此，LCD的尺寸，实在是太大了。
“小成，你那边的五次光刻技术，是否成熟了？”
王青山是产线调试的技术负责人，从现在开始，产率，良率的问题，主要就是他的事情了。
“怎么了？”
“产品的良率不足，也跟现在TFT的加工工序次数过多有关系。”
TFT的加工工艺，与晶圆没有原理上的本质区别。每一次光刻，成膜，清洗，涂光阻胶，曝光，显影，烘干，蚀刻，去光阻胶，检查，都要走一遍。
目前的TFT加工工艺，采用的是七次光刻的工艺。也就是基板需要通过七次光刻，才能完成加工。
而在晶圆芯片的加工过程中，几十次的光刻，是最少的了。这也是为什么晶圆厂的成品率很难提高的缘故。步骤越多，总成品率就越低。
“小成，如果你有好的技术，就赶紧拿出来吧。”
白学成也在一边加入了战团，进行劝说。
“好吧。”
成永兴犹豫了一下，但还是妥协了。这个技术，他是准备保留到下一代的。在历史上，五步光刻法，要过几年才会出现。
会议很快就转向了其它议题。
例如国产原料的送检等。但这些不影响主要进度。
有，不错，没有，也不怎么值得大家关心。
从全彩员工的角度看，这些都是供应商，用谁的不是用？用国产原料，反而是给大家添麻烦。
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会后，白学成和成永兴，王青山三个人到小会议室闲坐。
随着产线的全线调通，大家的心情，也就慢慢放松了下来。
刘民学最后还是接任了《光电设备》的总经理，但他不怎么来冰城，所以他的那个总经理，只是个挂名。
好在几家下属设备厂，完全可以独立工作，有没有这个上级单位，也没有太大关系。
冰城的光电设备本部，又重建了一套独立的管理班子，周强等一批人，从其他兄弟单位调动了过来。
“我们的显示基地计划，一直还没有批下来。”
“这个我知道。”
“你怎么一点都不急呢？”
白学成对成永兴的态度，感到有点奇怪。
“急有用吗？”
“呵呵，是啊！”
急是没有用。不过这个事情在成永兴身上，白学成还是觉察出一丝不寻常。
这个年轻人，在很多事情上，急躁得很。例如产线的全线调通。但有些事情，又镇静的令人奇怪。
“不过，有个朋友托人给我们带话，他希望我们可以把正式线，设到申城。如果可以，他会帮助我们推动项目的审批工作。”
随着时间的流逝，光电的第二间厂房，也进入了验收阶段。
几乎所有人都认为，这间厂房是为了正式线准备的。
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“用不着吧。现在这样不是挺好的吗？”
带着后世的观点，成永兴对这种项目审批，很不以为然。
你批给我，名正言顺，不批，你还能挡着我花钱吗？
大不了，我连贷款都不用。而且随着第一块液晶样品的出现，对于如何搞钱，成永兴有些别样的想法。后世的人，拿着个PPT都能骗钱呢！
“是这样的，这条正式线，用我们自己的资金，无论如何是建不起来的。”
白学成与大多数人一样，根本看不到用自有资金，建设全负荷产线的可能性。
作为全彩总经理，找钱就成了他的一个本能举动。
LED大屏，确实很挣钱，但是如果只是靠自我利润的滚存，要攒50个月才能攒够一条正式产线所需要的投资。
“我的朋友讲，如果这条线能够放到申城，配套资金，他们可以负责解决7成。他们那里还可以提供各种税收优惠，条件非常好。”
对于全彩来说，生产线设到哪里，区别不大。光电的不少职工，原籍就是江浙一带。
后世，晶东方，全国各地建产线，甚至建到了内蒙古，哪里有钱，就去哪里建！
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“正式线，目前还没有建的打算。过两天，我准备再上一条中试线。”
“还上中试线？这条试验线的目的是什么啊？”
“这次准备提高LCD的大小和分辨率。”
大小和分辨率，是个不错的借口，但确实也有需要。随着时间的流逝，第一次LCD景气循环再有几个月就会走到了大家的面前。
居安思危，随着上升波段的到来，下降波段，也会接踵而至。如何度过寒冬，就是必须要考虑的事情。
“这次的设备需求，跟这次一样吗？”
“不一样，这次要求厂家们准备上5微米精度！”
新技术的采用和推广，成永兴的策略始终是小步快跑，温水煮青蛙。
第一次上10微米，是因为大家都没有经验，他也不想给设备厂商增加无畏的负担。
但闯过了第一关之后，再继续放纵就不对了。
钱哪有这么好挣的？
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历史在这里改了个大弯，LCD产线的世代称呼，以全彩的命名规则为准了。
为了区分各代产线，已经建成的这代产线，被称为第一代。
这代产品是光电在LCD领域的第一次尝试。它的主要特征是，产品尺寸较小，最大只有12寸，分别率也比较低，只有640x480。
而马上就要开发的，自然就被称呼为第二代。
第二代的尺寸被放大到了15寸，最大分辨率则被提升到了1024x768。它的主要针对目标，是此时的工作站显示器市场。
“这样的话，难度大了不少，各设备厂家恐怕都会有很大的经济压力啊。”
第一代设备，算是试用，样品，各家都拿出了很大热情来参与。从某种角度上来说，为了抢占市场，就是赔本干，也要拿下来。
第一代产品还没有看到效益，就开始研发第二代，光是研发成本，各家就承受不了。
“没关系，第二代线也不是现在就启动，只是要跟各厂家提前打好招呼。至于一代线，我准备再建几条。让他们准备好挣钱就行了。”
“几条？中试线？为什么要建这么多条中试线？钱从哪来？”
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今天开会来的人特别全，因为公司到了一个新的节点。
在会议桌中央，摆放着几块10.4寸的TFT-LCD样品。这几块样品，是用产线设备跑出来的。LCD生产线，终于彻底跑通了一次。
当然了，这个跑通，不等于马上就能投产。因为还有产品质量问题，良率问题。但剩下的事情相对就好办了，大家慢慢磨时间吧。
“样品给骆师姐送去了吗？”
“送去了，她们的电路板已经准备得差不多了，估计过两天，成品就会送回来。”
会议室的众人，都对第一块可以显示图案的LCD成品，期盼着。
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会议的重点，永远都是良率问题。
ODF工序，被引入以后，按理说TFT-LCD的良率，不应该有什么问题了。剩下的都是很普通的半导体加工工序。
光电虽然没有晶圆的生产经验，但LED的生产经验不算少了。但实际情况，并非如此，LCD的尺寸，实在是太大了。
“小成，你那边的五次光刻技术，是否成熟了？”
王青山是产线调试的技术负责人，从现在开始，产率，良率的问题，主要就是他的事情了。
“怎么了？”
“产品的良率不足，也跟现在TFT的加工工序次数过多有关系。”
TFT的加工工艺，与晶圆没有原理上的本质区别。每一次光刻，成膜，清洗，涂光阻胶，曝光，显影，烘干，蚀刻，去光阻胶，检查，都要走一遍。
目前的TFT加工工艺，采用的是七次光刻的工艺。也就是基板需要通过七次光刻，才能完成加工。
而在晶圆芯片的加工过程中，几十次的光刻，是最少的了。这也是为什么晶圆厂的成品率很难提高的缘故。步骤越多，总成品率就越低。
“小成，如果你有好的技术，就赶紧拿出来吧。”
白学成也在一边加入了战团，进行劝说。
“好吧。”
成永兴犹豫了一下，但还是妥协了。这个技术，他是准备保留到下一代的。在历史上，五步光刻法，要过几年才会出现。
会议很快就转向了其它议题。
例如国产原料的送检等。但这些不影响主要进度。
有，不错，没有，也不怎么值得大家关心。
从全彩员工的角度看，这些都是供应商，用谁的不是用？用国产原料，反而是给大家添麻烦。
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会后，白学成和成永兴，王青山三个人到小会议室闲坐。
随着产线的全线调通，大家的心情，也就慢慢放松了下来。
刘民学最后还是接任了《光电设备》的总经理，但他不怎么来冰城，所以他的那个总经理，只是个挂名。
好在几家下属设备厂，完全可以独立工作，有没有这个上级单位，也没有太大关系。
冰城的光电设备本部，又重建了一套独立的管理班子，周强等一批人，从其他兄弟单位调动了过来。
“我们的显示基地计划，一直还没有批下来。”
“这个我知道。”
“你怎么一点都不急呢？”
白学成对成永兴的态度，感到有点奇怪。
“急有用吗？”
“呵呵，是啊！”
急是没有用。不过这个事情在成永兴身上，白学成还是觉察出一丝不寻常。
这个年轻人，在很多事情上，急躁得很。例如产线的全线调通。但有些事情，又镇静的令人奇怪。
“不过，有个朋友托人给我们带话，他希望我们可以把正式线，设到申城。如果可以，他会帮助我们推动项目的审批工作。”
随着时间的流逝，光电的第二间厂房，也进入了验收阶段。
几乎所有人都认为，这间厂房是为了正式线准备的。
————————
“用不着吧。现在这样不是挺好的吗？”
带着后世的观点，成永兴对这种项目审批，很不以为然。
你批给我，名正言顺，不批，你还能挡着我花钱吗？
大不了，我连贷款都不用。而且随着第一块液晶样品的出现，对于如何搞钱，成永兴有些别样的想法。后世的人，拿着个PPT都能骗钱呢！
“是这样的，这条正式线，用我们自己的资金，无论如何是建不起来的。”
白学成与大多数人一样，根本看不到用自有资金，建设全负荷产线的可能性。
作为全彩总经理，找钱就成了他的一个本能举动。
LED大屏，确实很挣钱，但是如果只是靠自我利润的滚存，要攒50个月才能攒够一条正式产线所需要的投资。
“我的朋友讲，如果这条线能够放到申城，配套资金，他们可以负责解决7成。他们那里还可以提供各种税收优惠，条件非常好。”
对于全彩来说，生产线设到哪里，区别不大。光电的不少职工，原籍就是江浙一带。
后世，晶东方，全国各地建产线，甚至建到了内蒙古，哪里有钱，就去哪里建！
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“正式线，目前还没有建的打算。过两天，我准备再上一条中试线。”
“还上中试线？这条试验线的目的是什么啊？”
“这次准备提高LCD的大小和分辨率。”
大小和分辨率，是个不错的借口，但确实也有需要。随着时间的流逝，第一次LCD景气循环再有几个月就会走到了大家的面前。
居安思危，随着上升波段的到来，下降波段，也会接踵而至。如何度过寒冬，就是必须要考虑的事情。
“这次的设备需求，跟这次一样吗？”
“不一样，这次要求厂家们准备上5微米精度！”
新技术的采用和推广，成永兴的策略始终是小步快跑，温水煮青蛙。
第一次上10微米，是因为大家都没有经验，他也不想给设备厂商增加无畏的负担。
但闯过了第一关之后，再继续放纵就不对了。
钱哪有这么好挣的？
————————
历史在这里改了个大弯，LCD产线的世代称呼，以全彩的命名规则为准了。
为了区分各代产线，已经建成的这代产线，被称为第一代。
这代产品是光电在LCD领域的第一次尝试。它的主要特征是，产品尺寸较小，最大只有12寸，分别率也比较低，只有640x480。
而马上就要开发的，自然就被称呼为第二代。
第二代的尺寸被放大到了15寸，最大分辨率则被提升到了1024x768。它的主要针对目标，是此时的工作站显示器市场。
“这样的话，难度大了不少，各设备厂家恐怕都会有很大的经济压力啊。”
第一代设备，算是试用，样品，各家都拿出了很大热情来参与。从某种角度上来说，为了抢占市场，就是赔本干，也要拿下来。
第一代产品还没有看到效益，就开始研发第二代，光是研发成本，各家就承受不了。
“没关系，第二代线也不是现在就启动，只是要跟各厂家提前打好招呼。至于一代线，我准备再建几条。让他们准备好挣钱就行了。”
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